特許
J-GLOBAL ID：200903009099029989
アルゴンガス中の窒素ガス又は水蒸気の測定方法及びその装置、窒素ガス及び水蒸気の同時測定方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細井 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-218113
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114550
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 アルゴンガス中の窒素ガス及び/又は水蒸気を高精度で検出することのできる測定方法及びその装置を提供する。【構成】 本発明方法は、試料アルゴンガスをキャピラリー放電管内に導入し、該放電管内でグロー放電せしめて発生した光から、窒素に特有の波長の光及び水に特有の波長の光を分離し、これらの光を光センサーに導入して光センサーによって検知された光の強度に基いて、窒素ガス含有量及び/又は水蒸気含有量を測定するものである。また本発明装置は、試料アルゴンガスを導入してグロー放電させるためのキャピラリー放電管1と、該放電管1内に相対向して設けられた放電電極3及び4と、該電極に電圧を印加するための高電圧電源5と、グロー放電によって発生した光から、窒素に特有の波長の光及び水に特有の波長の光を分離して検知する、ハーフミラー16、干渉フィルター17a,17b、光電子増倍管18a,18b等とを有する。
請求項（抜粋）：
試料アルゴンガスをキャピラリー放電管内に導入して該放電管内でグロー放電せしめて発生した光から、窒素ガス又は水蒸気に特有の波長の光を分離して光センサーに導入し、光センサーによって検知された光の強度に基いて、窒素ガス含有量又は水蒸気含有量を測定することを特徴とするアルゴンガス中の窒素ガス又は水蒸気の測定方法。
引用特許：
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