特許
J-GLOBAL ID：200903009102946564
放電を利用する真空装置における放電検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-222093
公開番号（公開出願番号）：特開平6-052994
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】[目的] 真空装置においてプラズマ放電を自動的、かつ確実に検知すること。[構成] 放電検出装置Aは、電極4に高周波電圧を印加するための電線路9に近接して、電線路9に流れている高周波電流を検出するための高周波電流検出手段11と、該高周波電流検出手段の検出出力端子に接続され、高周波電源1の周波数成分を主として通すためのローパスフィルター12と、該ローパスフィルター12の出力を検出するための高周波電流計17と、前記検出出力端子に接続され、前記周波数成分の高次の高調波周波数成分を主として通すためのハイパスフィルター13とを備え、このハイパスフィルター13の出力が所定レベル以上になることを検知して、前記プラズマ放電の発生を検出するようにした。
請求項（抜粋）：
真空槽内に配設される電極に高周波電源からの高周波電圧を印加し、前記真空槽内にプラズマ放電を発生させるようにした真空装置の前記プラズマ放電の発生を検出するための放電検出装置を備えた、放電を利用する真空装置における放電検出装置において、前記放電検出装置は、前記電極に前記高周波電圧を印加するための電線路に近接して、該電線路に流れている高周波電流を検出するための高周波電流検出手段と、該高周波電流検出手段の検出出力端子に接続され、前記高周波電源の周波数成分の高次の高調波周波数成分を主として通すためのフィルターとを備え、該フィルターの出力が所定レベル以上になることを検知して前記プラズマ放電の発生を検出するようにしたことを特徴とする放電を利用する真空装置における放電検出装置。
IPC (4件)：
H05H 1/00
, H01L 21/302
, H05H 1/46
, C23C 14/54
