特許

J-GLOBAL ID：200903009103091384

半導体圧力センサ

発明者： 西村 悦夫
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282324
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118639
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 被測定空気が高湿度であってもセンサ素子での結露や凍結を防止し、常に高精度で圧力測定ができ、内燃機関の性能に影響を与えない優れた半導体圧力センサを得る。【解決手段】 圧力導入管1aを有するセンサ素子1と、面上にセンサ素子1を所定距離隔ててリード11dにより装着するプリント基板3と、プリント基板3を保持すると共に圧力通路4aを有し、圧力通路4aに前記圧力導入路1aを嵌挿するベース4とを備え、少なくとも放冷時におけるセンサ素子1の温度低下速度が圧力通路4aの温度低下速度より小さくなるようにセンサ素子1とプリント基板3との間の隔たり距離を設定するようにした。

請求項（抜粋）：

圧力導入管を有するセンサ素子、このセンサ素子を所定の距離隔てて支持するプリント基板、このプリント基板を保持すると共に前記センサ素子の圧力導入管が嵌挿される圧力通路を有するベースを備え、自然放冷時における前記センサ素子の温度低下速度が、前記ベースの圧力通路の温度低下速度より小さくなるようにセンサ素子とプリント基板との間の隔たり距離が設定されていることを特徴とする半導体圧力センサ。