特許
J-GLOBAL ID：200903009106746780
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-133156
公開番号（公開出願番号）：特開平8-329874
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【構成】架台8上で除振装置7により支えられた荷重板6に設置された電子光学系2,試料室3および試料ステージ5全体を覆い、荷重板6に固定した内側カバー10と内側カバー10全体を覆い架台8に固定した外側カバー11を有する。【効果】音波は外側カバー11により減衰されて内側カバー10に伝達し、さらに内側カバー10で減衰されるため、内側カバー10内部の電子光学系2と試料ステージ5に音波は伝わらず、音波障害が発生しない。
請求項（抜粋）：
架台上で振動を減衰する除振装置により支えられている荷重板と、前記荷重板上には、電子線を収束して試料上を二次元的に走査させる電子光学系と、前記試料上より放出される二次電子を検出し電気信号に変換させる二次電子検出器と、前記電子光学系と前記二次電子検出器が取り付き、真空ポンプにより高真空に維持されている試料室と、前記試料室内で前記試料を移動させる試料ステージが配置されている電子線装置において、前記電子光学系,前記二次電子検出器,前記試料室,前記試料ステージの荷重板上のユニット全体を覆う形状で前記荷重板に固定するカバーと、前記カバーと接触しないでカバー全体を覆う形状で前記架台に固定するカバーによる二重カバーを有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, H01J 37/16
, H01J 37/28
H01J 37/20 Z
, H01J 37/16
, H01J 37/28 Z
