特許
J-GLOBAL ID:200903009108051194
改良された真空ポンプ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 稔 (外9名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-166669
公開番号(公開出願番号):特開2002-013498
出願日: 2001年06月01日
公開日(公表日): 2002年01月18日
要約:
【要約】【課題】 ゴミや他の外来物資が復圧セクションの入口に達するのを防止し又は少なくともこれを阻止するためのトラップ(捕獲器)を含む複合真空ポンプを提供する。【解決手段】 複合真空ポンプは、復圧セクション1とホルヴェック(Holweck)セクション2とを含む。ホルヴェックセクション2の半径方向に最も内側の回転には、環状突起40からなる手段が形成されている。突起40は、ポンプの入口31に入るゴミ及び外来粒子を復圧セクション1の入口に入る前に捕獲するように機能する。
請求項(抜粋):
復圧セクションの上流のホルヴェックセクションと、該ホルヴェックセクション内のゴミ及び他の外来物質を分離して捕獲するための、前記ホルヴェックセクションに関連した手段とを有することを特徴とする複合真空ポンプ。
IPC (3件):
F04D 19/04
, F04D 29/54
, F04D 29/70
FI (4件):
F04D 19/04 H
, F04D 19/04 G
, F04D 29/54 F
, F04D 29/70 N
Fターム (22件):
3H031DA01
, 3H031DA02
, 3H031DA05
, 3H031DA06
, 3H031DA07
, 3H031EA03
, 3H031EA04
, 3H031EA09
, 3H031FA31
, 3H031FA36
, 3H034AA01
, 3H034AA02
, 3H034AA03
, 3H034AA12
, 3H034BB01
, 3H034BB08
, 3H034BB11
, 3H034CC03
, 3H034CC07
, 3H034DD05
, 3H034DD28
, 3H034EE04
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