特許
J-GLOBAL ID：200903009112599110
液晶表示パネルおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278903
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119249
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 導電性の異物が入り込んでも、画素電極と対向電極の短絡、および隣接する画素の間での画素電極同士の短絡が発生しない液晶表示パネル、投写型液晶表示装置、および画素電極をドライエッチングにより形成する際にレジストマスクを用いなても済む液晶表示パネルの製造方法を提供すること。【解決手段】 アクティブマトリクス基板AMの側に、ITO膜および薄いシリコン酸化膜を順次積層した後、シリコン膜をパターニングして保護膜59を形成する。次に、レジストマスクを用いずに、保護膜59をマスクとしてITO膜にドライエッチングを行って画素電極55を形成する。従って、画素電極55は保護膜59で覆われているので、導電性の異物Cが入り込んでも、対向電極71あるいは隣接する画素PXの画素電極55と短絡することがない。
請求項（抜粋）：
一対の基板間に液晶が封入され、該一対の基板の一方の基板上には複数の信号線に画素スイッチング素子を介して各々接続する画素電極がマトリクス状に形成されてなる液晶表示パネルにおいて、前記画素電極の表面には透明な絶縁膜からなる保護膜が積層されていることを特徴とする液晶表示パネル。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/13 505
, G09F 9/30 348
G02F 1/136 500
, G02F 1/13 505
, G09F 9/30 348 A
