ラザフォード後方散乱分光分析データ解析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢葺知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-232904
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094551
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】ラザフォード後方散乱分光分析法において、固体試料中の元素濃度の深さ方向分布を、従来法より高信頼性かつ短時間で分析するためのデータ解析法を提供する。【構成】元素濃度の深さ方向分布について仮定分布を設定する際、物理的意味を有するパラメータからなる式を使用し、試料に関する既知情報に基づいて初期値を設定してシミュレーションする。また、シミュレーションで得られた理論スペクトルと実測スペクトルを比較する際、勾配法によらずパウエル法を採用してフィッティングを行う。

請求項（抜粋）：

ラザフォード後方散乱分光分析法で、固体試料中の元素濃度の深さ方向分布について仮定分布を設定し、該仮定分布に基づく理論スペクトルをシミュレーションにより求め、実測スペクトルと比較してフィッティングを行うことにより、前記試料中の前記元素の実際の濃度分布を分析する方法において、基板元素に対する分析対象元素の濃度比の仮定分布を(1)式および(2)式により設定してシミュレーションを行うことを特徴とするラザフォード後方散乱分光分析データ解析方法。【数1】ただし Pi ...基板元素に対する分析対象元素の原子濃度比x ...試料表面からの深さA ...基板元素に対する分析対象元素の原子濃度比の最大値D ...分析対象元素が出現するときの深さW1 ...分析対象元素の濃度上昇域の幅W2 ...分析対象元素の最大濃度域の幅W3 ...分析対象元素の濃度下降域の幅a1 ,b1 ...濃度上昇域における不完全β関数の形状パラメータa2 ,b2 ...濃度下降域における不完全β関数の形状パラメータ

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