特許
J-GLOBAL ID：200903009122980750
半導体製造装置のネットワークシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-169698
公開番号（公開出願番号）：特開平8-037157
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 多数の装置接続時にも高速通信ができ、従制御装置の増設,拡張を充分に可能とし、ケーブルの取り回しが容易で、保守作業等を容易にする。【構成】 主制御装置3のLANインターフェイスボード7と複数の従制御装置4の各LANインターフェイス10との間をネットワーク基幹線8で接続し、かつ両装置3,4間のネットワーク通信を制御ソフトウェアで実現することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
主制御装置と圧力,温度制御装置など複数の従制御装置との間でデータ交換を行い、ウェーハに成膜等の処理をする半導体製造装置において、主制御装置と各従制御装置間の通信を実現するネットワーク施設と制御ソフトウェアを使用することを特徴とする半導体製造装置のネットワークシステム。
IPC (2件)：
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