特許

J-GLOBAL ID：200903009130882709

基板処理装置

発明者： 山岸 紀睦 ,  手塚 重倫
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-375136
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142245
出願日： 2003年11月05日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】受光素子によって検出される光量が変化したとしても、基板の保持状態を正確に検知し、基板保持具や基板の破損を防止できる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板12を多段に保持する基板保持具26と、この基板保持具26に基板12を移載する基板移載機34と、前記基板保持具26に保持された基板12の保持状態を検知する投光器64aと受光器とを有する検知手段60と、前記検知手段60を前記投光器64aと受光器とを結ぶ光軸が基板12を通過する様に移動させる移動手段とを有し、前記移動手段にて前記検知手段60を移動させて前記受光器により検出された光量をもとに基板12の保持状態を検知する基板処理装置であって、前記光量をアナログデータとして検出し、そのピーク値から基板12の保持状態を検出する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板を多段に保持する基板保持具と、 この基板保持具に基板を移載する基板移載機と、 前記基板保持具に保持された基板の保持状態を検知する投光器と、前記投光器から照射さ れた光を受光する受光器とを有する検知手段と 前記検知手段を前記投光器と受光器とを結ぶ光軸が基板を通過する様に移動させる移動手 段とを有し、 前記移動手段にて前記検知手段を移動させて前記受光器により検出された光量をもとに基 板の保持状態を検知する基板処理装置であって、 前記光量をアナログデータとして検出し、少なくとも前記アナログデータのピーク値から 基板の保持状態を検出すること を特徴とする基板処理装置。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 L

Fターム (22件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA36 ,  5F031GA58 ,  5F031JA05 ,  5F031JA23 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA28 ,  5F031NA02 ,  5F031NA07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特願2003-333664号公報