特許
J-GLOBAL ID：200903009132975470
四硼酸リチウム結晶の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030081
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237997
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 結晶育成直後の炉冷中、或は炉冷後の円筒研削加工時におけるクラックの発生を防止し、以て弾性表面波装置用の基板の製造に好適な大口径の結晶の製造を可能ならしめる四硼酸リチウム結晶の製造方法を提供する。【構成】 チョクラルスキー法により育成された四硼酸リチウム結晶のインゴットを融液面から切り離した後、前記融液面から10mm以上離れた炉内上方位置に前記インゴットを位置させ、50°C/時以下の冷却速度で室温まで冷却する。また、育成された四硼酸リチウム結晶のインゴットを、該インゴットの外周部を研削加工する前に、800°C以上917°C未満の温度で1時間以上保持した後、50°C/時以下の冷却速度で冷却して熱処理する。【効果】 結晶中の熱歪みが低減されてクラックの発生が防止され、弾性表面波装置用の基板として好適な大口径の四硼酸リチウム結晶を安定して歩留り良く製造することが可能になり、経済的効果が極めて大である。
請求項（抜粋）：
四硼酸リチウム原料の融液から育成された四硼酸リチウム結晶のインゴットを、該インゴットの外周部を研削加工する前に、800°C以上917°C未満の温度で1時間以上保持した後、50°C/時以下の冷却速度で冷却して熱処理することを特徴とする四硼酸リチウム結晶の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/10
, C30B 15/00
, H03H 3/08
, H03H 9/25
