特許

J-GLOBAL ID：200903009134777268

磁気力顕微鏡用プローブおよびカンチレバー・アセンブリ

発明者： アンドレアス・モーザー ,  ディーター・クラウス・ヴェラー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058519
公開番号（公開出願番号）：特開平11-166936
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 プローブ・ティップに磁界を集中させ、磁界をプローブ・ティップにおいて交番させて、コイルからの漂遊磁界が磁性試料に影響を及ぼすことなくMFMシステムの分解能を改善することができる改良型のAC-MFMプローブおよびAC-MFMシステムを提供すること。【解決手段】 交流磁気力顕微鏡(MFM)システムに使用されるプローブ10が、MFMシステムのカンチレバー50の自由端に配置される。このプローブは、磁気ヨークの一部分を構成する1対の磁極と、ヨークを通って巻かれたパターン付きの導電性コイル11とを有する。プローブは、一方の磁極に磁気的に結合されそれから延びる磁気表面の層を有するプローブ・ティップ20を含む。

請求項（抜粋）：

プローブ本体と、本体上に形成された1対の磁性体の磁極と、本体上に形成され、磁極の間にコイルとしてパータン形成された導電体層と、一方の磁極の端部に取り付けられ、磁性体の表面を有するプローブ・ティップとを含み、それにより、コイルが交流電流源に接続されたときに、プローブ・ティップに交番磁界が発生する磁気力顕微鏡用プローブ。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01R 33/12

FI (5件)：

G01N 37/00 H ,  G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 G ,  G01B 7/34 Z ,  G01R 33/12 Z