特許
J-GLOBAL ID:200903009136962844

積層型セラミックヒータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-339465
公開番号(公開出願番号):特開平9-180867
出願日: 1995年12月26日
公開日(公表日): 1997年07月11日
要約:
【要約】【課題】 脱脂工程において積層体に変形、亀裂等が生じることを抑制できる構造を有した積層型セラミックヒータを提供する。【解決手段】 ヒータ11の基底シート12及び保護シート14は、アルミナ(Al2 O3 )を主成分とし、バインダとして有機樹脂(分解温度:250°C)を含むグリーンシート12a,14aを脱脂焼成して形成される。発熱パターン13は、白金(Pt)と、バインダとして有機樹脂(分解温度:300°C)とを含む印刷ペーストを基底シート用グリーンシート12aの表面に印刷することにより形成される。脱脂工程において、先ず、グリーンシート12a,14aの有機樹脂が分解気化する。気化した有機樹脂は、各シート12a,14aの内部に複数の導出孔を形成する。次に、発熱パターン13の有機樹脂が分解気化する。気化した有機樹脂は、その導出孔内を移動して外部に放出される。
請求項(抜粋):
セラミック粉末と有機樹脂とを含むセラミックシートと、同セラミックシートの表面に形成され、導電性粉末と有機樹脂とを含む発熱パターンと、発熱パターンが形成されたセラミックシートの表面に積層されたセラミック板とを含む積層体を、所定温度パターンにて脱脂処理した後、焼成してなる積層型セラミックヒータであって、前記発熱パターンに含まれる有機樹脂が前記脱脂処理時に分解気化した際、その気化した有機樹脂が積層体外部に移動することを促進する移動促進手段を有してなる積層型セラミックヒータ。
IPC (3件):
H05B 3/14 ,  G01N 27/41 ,  G01N 27/409
FI (3件):
H05B 3/14 B ,  G01N 27/46 325 H ,  G01N 27/58 B

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