特許
J-GLOBAL ID：200903009137368806
最大理論収量の自動計算装置および最大理論収量の自動計算をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-078624
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274053
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 最大の理論収量で最小露光回数を実現する最大理論収量の自動計算装置の提供が望まれている。【解決手段】 ウエハからチップを作製するうえで、このウエハから最大の数のチップを採り出すことのできるチップ配置を求め、チップの最大理論収量を自動計算するとともに、このチップの作製を最小の露光回数で実現することのできる露光装置の諸元を自動計算する装置である。初期データ部1と、仮想チップ配置計算部2と、仮想チップ配置記憶部3と、最大理論収量配置決定部4と、仮想露光配置計算部5と、仮想露光配置記憶部6と、最小露光配置決定部7と、決定配置表示部8と、を具備してなる。
請求項（抜粋）：
ウエハからチップを作製するうえで、該ウエハから最大の数のチップを採り出すことのできるチップ配置を求め、チップの最大理論収量を自動計算するとともに、このチップの作製を最小の露光回数で実現することのできる露光装置の諸元を自動計算する装置であって、複数種類の大きさのウエハの形状を決定する諸元を記憶するウエハ形状諸元記憶機能と、ウエハ上においてチップの製造可能な範囲を決める有効領域の形状を決定する諸元が入力されるとこの入力された諸元を記憶するウエハ有効領域諸元入力/記憶機能と、配置するチップの大きさを決める諸元が入力されるとこの入力された諸元を記憶するチップサイズ諸元入力/記憶機能と、1露光範囲の大きさとこの範囲に入るチップ数を決める諸元が入力されるとこの入力された諸元を記憶する露光サイズ諸元入力/記憶機能と、を有してなる初期データ部と、前記初期データ部に記憶されたウエハの形状を決定する諸元、および有効領域の形状を決定する諸元から得られるウエハ形状および有効領域の形状に基づき、ウエハ中心点とこの中心点を含むチップとの複数の相対位置によるチップ配置を条件に、前記有効領域内の仮想的なチップ配置決定のための計算を行うチップ配置計算機能と、このチップ配置計算機能によって得られたチップ配置において有効領域内に配置された理論収量となるチップ数を計算する理論収量計算機能と、を有してなる仮想チップ配置計算部と、前記のウエハ中心点とこの中心点を含むチップとの複数の相対位置によるチップ配置条件、およびこの条件に基づいて前記理論収量計算機能で得られた理論収量を記憶する仮想チップ配置記憶部と、前記仮想チップ配置計算部で求められ仮想チップ配置記憶部に記憶された理論収量の中から、最大理論収量となる配置条件を検索してこれを記憶する最大理論収量条件検索機能と、検索され記憶された最大理論収量となる配置条件が複数ある場合にその中から任意のものを選択する最大理論収量条件選択機能と、を有してなる最大理論収量配置決定部と、前記最大理論収量配置決定部における最大理論収量条件選択機能で選択された最大理論収量となる配置条件のもとで、半導体露光装置によって該ウエハを仮想的に露光した場合の、露光配置条件を計算する露光配置計算機能と、得られた露光配置条件に対してその露光回数を計算する露光回数計算機能と、を有してなる仮想露光配置計算部と、前記露光配置計算機能によって得られた露光配置条件、およびこの条件に対して前記露光回数計算機能で得られた露光回数を記憶する仮想露光配置記憶部と、前記仮想露光配置計算部で求められ仮想露光配置記憶部で記憶された露光配置条件の中から、最小の露光回数となる条件を検索してこれを記憶する最小露光回数条件検索機能と、検索され記憶された最小露光回数となる露光配置条件が複数ある場合にその中から任意のものを選択する最小露光回数条件選択機能と、を有してなる最小露光配置決定部と、前記最大理論収量配置決定部、最小露光配置決定部で選択され決定された最大理論収量になるチップの配置と最小露光回数になる露光配置とを重ね合わせた配置図を決定し、これを表示する決定配置図表示機能と、決定されたチップの配置を実際の露光装置で再現するために必要な諸元データを表示する露光装置諸元表示機能と、を有してなる決定配置表示部と、を具備してなることを特徴とする最大理論収量の自動計算装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G06F 17/00
, G06F 17/10
, H01L 21/02
H01L 21/30 502 G
, H01L 21/02 Z
, G06F 15/20 Z
, G06F 15/31 Z
, H01L 21/30 516 B
