特許
J-GLOBAL ID：200903009144719649
各種マスクの形成工程におけるレジスト膜画像の除去方法、及びこれに用いる接着剤あるいは接着シート類
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294438
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151299
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、例えば、薄膜回路用蒸着マスク等の各種マスクの製造時における画像を形成する工程において、マスク形成用金属材上の不要となったレジスト膜からなる画像を除去する方法、及びこれに用いる硬化型感圧接着剤、あるいはそのシート状物、テープ状物などの接着シート類を提供する。【構成】 各種マスクの製造時における画像を形成する工程において、マスク形成用金属材に設けられたレジスト膜からなる画像の上面に、硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離して、金属材上のレジスト膜画像を除去する。
請求項（抜粋）：
各種マスクの形成工程において、マスク形成用金属材上に設けられたレジスト材からなる画像の上面に、硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離して、金属材上のレジスト膜画像を除去することを特徴とする、各種マスクの形成工程におけるレジスト膜画像の除去方法。
IPC (2件)：
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