特許

J-GLOBAL ID：200903009146228197

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法

発明者： 島田 勝人 ,  酒井 真理 ,  亀井 宏行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366753
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179976
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【目的】 製造工程において各層間に生じる残留応力を低減するインクジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。【構成】圧力室が形成された圧力室基板の少なくとも一方の面に、上部電極と下部電極に挟まれた圧電体膜から成る圧電体薄膜素子をインク吐出駆動源として配置したインクジェット式記録ヘッドにおいて、表面に露出している前記下部電極の表面近傍を、下部電極の圧力室側に存在する残留応力の2倍の残留応力を有する範囲を深さ方向に所定量エッチングする。

請求項（抜粋）：

圧力室が形成された圧力室基板の少なくとも一方の面に、上部電極と下部電極に挟まれた圧電体膜から成る圧電体薄膜素子をインク吐出駆動源として配置したインクジェット式記録ヘッドにおいて、表面に露出している前記下部電極の表面近傍を、下部電極の圧力室側に存在する残留応力の2倍の残留応力を有する範囲を深さ方向に所定量エッチングした、インクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 液体噴射ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-201087   出願人：セイコーエプソン株式会社