特許
J-GLOBAL ID：200903009151979818
プローバの文字認識システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201661
公開番号（公開出願番号）：特開平6-052293
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】プローバにおいて、ウエハ上にマーキングされた文字を、ウエハ表面状態にかかわらず読み取る事を可能とする。【構成】プローバにカメラ1を取付け、カメラ1で撮像した画像をプローバ画像処理制御部3から、文字認識装置の文字特徴データ抽出部8へ送信する。ここで画像中の文字の二値化及び文字特徴データを求め、文字データ確度演算部9及び文字判定回路10で画像の表わす文字を認識し、プローバ制御部4及び外部装置12に対して認識した文字コードを出力する。
請求項（抜粋）：
プローバに、画像認識装置と、画像認識装置からの画像を文字認識装置に送信する為の画像処理制御部と、プローバの統括制御を行うプローバ制御部と、ウエハ上にマーキングされた文字の文字認識を行う文字認識装置部と、プローバと文字認識装置部との通信を行うI/Oとを有する事を特徴とするプローバの文字認識システム。
IPC (4件)：
G06F 15/62 405
, G06K 9/00
, G06K 9/66
, H01L 21/02
