特許

J-GLOBAL ID：200903009154813317

感放射線性樹脂組成物

発明者： 小林 英一 ,  王 勇 ,  千葉 隆
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-227980
公開番号（公開出願番号）：特開2000-056460
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 特に遠紫外線のほか、荷電粒子線、X線の如き各種の放射線に対して、感度、解像性能およびパターン形状に優れ、十分な耐熱性を有し、しかも塩基性基板上でも裾引きを生じることのなく、かつ光学系の汚染源となるガスを生成せず、体積収縮が無く、基板との剥離性が良好であり、保存安定性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有する樹脂、並びに(B)下記式(3)で表されるジアゾジスルホン化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、R3 は水素原子またはメチル基を示し、R4 は水素原子、メチル基またはアセチル基を示す。〕【化3】〔式(3)において、R5 およびR6 は相互に独立に炭素数4〜18の1価の有機基を示す。〕

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有する樹脂、並びに(B)下記式(3)で表されるジアゾジスルホン化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、R3 は水素原子またはメチル基を示し、R4 は水素原子、メチル基またはアセチル基を示す。〕【化3】〔式(3)において、R5 およびR6 は相互に独立に炭素数4〜18の1価の有機基を示す。〕

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (16件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA16 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BF03 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45