走査型光学顕微装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286046
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137847
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】波長による光の回折限界を超えた分解能を有する光学顕微鏡を実現する。【構成】試料の微細構造により生じたエバネッセント光の場に先端の鋭いプローブを挿入し、エバネッセント光とプローブ間の相互作用により生じた散乱光を検出することで試料の微細構造を計測することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

針状のプローブを被試験試料表面近傍で2次元あるいは3次元に走査し、試料面上近傍に光によって形成される光の場と、本プローブとの相互作用を光電検出することによって、被試験試料の表面形状を測定する走査型光学顕微装置において、前記試料とその上の媒体との屈折率で決まる臨界角より大きな入射角で試料裏面より試料を照射する照明光学系と、前記試料を2次元ないし3次元に走査する走査機構と、前記試料表面近傍に配置した針状のプローブと、前記プローブ先端からの散乱光を集光する集光光学系とを有することを特徴とする走査型光学顕微装置。

IPC (6件)：

G01B 11/30 102 , G01B 11/24 , G02B 27/56 , G02B 27/58 , G01B 7/34 , G01B 21/30

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