特許
J-GLOBAL ID:200903009163744794
マトリクスアレイ基板、及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
蔦田 璋子 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-245509
公開番号(公開出願番号):特開2001-067020
出願日: 1999年08月31日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】 信号線6を上層配線51と下層配線31との冗長配線構造とした、平面表示装置用のマトリクスアレイ基板10において、信号線6と走査線11との間の短絡を防止する。【解決手段】信号線6と走査線11との交差部7において、信号線下層配線51は、信号線上層配線31の輪郭位置のバラツキを吸収すべく、充分に幅広に設けられる。したがって、交差部7において、信号線上層配線51が信号線下層配線31の範囲からはみ出すことがなく、走査線11を覆う絶縁膜に、信号線6に沿った個所でピンホールが生じても、信号線上層配線51と走査線11との間で短絡が生じない。
請求項(抜粋):
基板上に略平行に配列される複数の走査線と、この走査線に略直交して配列され該走査線との交差部において少なくともゲート絶縁膜を介して該走査線に重ねられる複数の信号線と、これら走査線及び信号線がなすマトリクス状の区画ごとに配置される画素電極及びスイッチング素子とを備え、前記信号線が、信号線下層配線と、この信号線下層配線に沿って配置され層間絶縁膜を介して該信号線下層配線に重ねられる信号線上層配線とからなる、平面表示装置用のマトリクスアレイ基板において、前記信号線上層配線の略全体が等幅に設けられるのに対し、前記信号線下層配線は、前記交差部において前記信号線上層配線よりも幅広に設けられることを特徴とするマトリクスアレイ基板。
IPC (3件):
G09F 9/30 340
, G02F 1/1368
, H01L 29/786
FI (3件):
G09F 9/30 340
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 612 C
Fターム (55件):
2H092GA25
, 2H092GA26
, 2H092HA06
, 2H092JA26
, 2H092JB32
, 2H092JB33
, 2H092JB35
, 2H092KB04
, 2H092KB25
, 2H092MA08
, 2H092MA12
, 2H092NA12
, 2H092NA16
, 5C094AA21
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA20
, 5C094DA13
, 5C094EA03
, 5C094EA04
, 5C094EA07
, 5C094GB01
, 5C094HA08
, 5C094JA08
, 5F110AA26
, 5F110BB01
, 5F110CC07
, 5F110DD02
, 5F110EE06
, 5F110EE44
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF09
, 5F110FF30
, 5F110GG02
, 5F110GG15
, 5F110GG45
, 5F110HJ01
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK09
, 5F110HK16
, 5F110HK22
, 5F110HK25
, 5F110HK33
, 5F110HK35
, 5F110HL03
, 5F110HL04
, 5F110HL07
, 5F110HL12
, 5F110HM19
, 5F110NN02
, 5F110NN12
, 5F110NN24
, 5F110NN35
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