特許

J-GLOBAL ID：200903009166794644

蒸着装置

発明者： 清水 潤一 ,  鈴木 巧一 ,  小島 啓安 ,  尾山 卓司 ,  橋本 直樹 ,  広津 孝
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-118146
公開番号（公開出願番号）：特開平5-287510
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【構成】プラズマガン4からプラズマ流5を蒸着原料6に導いて蒸発させ、搬送手段3により搬送された基体2上に薄膜を形成する成膜室1と、これに隣接した原料供給室8と、両室を隔絶するバルブ9と、両室の間で蒸着原料容器7を移動する手段とを有する蒸着装置。【効果】量産用の稼動率の高い装置を提供できる。

請求項（抜粋）：

基体面に蒸着により薄膜を形成する成膜室と、基体を成膜室を通って移動する基体搬送手段と、薄膜の材料となる蒸着原料を保持する蒸着原料容器と、成膜室内で蒸着原料を蒸発させるためのアーク放電によるプラズマ流を形成可能なプラズマガンと、プラズマガンを陰極に、蒸着原料容器を陽極としてアーク放電を行うための電源と、成膜室に隣接し、蒸着原料容器に蒸着原料を供給可能な原料供給室と、成膜室と原料供給室とを隔絶可能な仕切バルブと、仕切バルブが開いた状態で、成膜室と原料供給室との間で、蒸着原料容器を移動可能な蒸着原料容器移動手段と、を有する蒸着装置。