特許
J-GLOBAL ID：200903009174157254
導波路型光デバイスの受光構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322193
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234345
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】 生産性に優れ、小形でしかも高効率な結合が可能な導波路型光デバイスの受光構造を提供する。【構成】 光導波路が形成された基板の表面の一部に段差を設け、段差部に受光面を上にして受光素子を実装し、基板の上にかぶせられた反射鏡を有するカバーにより、段差近傍にある光導波路端面から出射された光を反射させて受光素子に結合させる。また、基板には、貫通穴を設けておき、受光面を貫通穴に向けて受光素子を実装することにより受光素子を裏面に実装して、実装密度をより向上させることもできる。反射鏡はカバーをシリコン基板とし、異方性化学的エッチングにより容易に形成できる。カバーをモールド樹脂にし、反射鏡を凹面形状にすることにより損失を低減できる。反射鏡表面に金を被膜することで結合を向上できる。
請求項（抜粋）：
光導波路が形成された導波路基板と、前記光導波路の終端部近傍に配置される受光素子と、前記導波路基板の前記光導波路の終端面近傍に配置され、前記終端面から出射される光を前記受光素子の受光面に反射する反射鏡とを備えたことを特徴とする導波路型光デバイスの受光構造。
IPC (3件)：
G02B 6/42
, G02B 6/122
, H01L 31/02
G02B 6/12 B
, H01L 31/02 B
