超伝導量子干渉素子およびそれを用いた非破壊検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-081676
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282196
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】微小な磁場、電流、電圧、電磁波などを検出する超伝導量子干渉素子に関し、超伝導量子干渉素子で測定試料から発生する磁束分布を測定する際、高い温度の試料に対しても、測定可能な素子構造とすること。【解決手段】 SQUIDの検出コイルを、ジョセフソン接合を構成する超伝導薄膜材料の臨界温度より高い臨界温度を持つ超伝導薄膜材料で構成したものである。上記検出コイルの臨界温度を、ジョセフソン接合部より高くすることにより、試料の温度がジョセフソン接合部の臨界温度より高い状態においても、測定可能となる。

請求項（抜粋）：

ジョセフソン接合を含む超伝導リングと、超伝導リングに磁気結合された帰還変調コイルと、検出コイルを有する超伝導量子干渉素子であり、基板上に超伝導薄膜で形成され、検出コイルを一体化した集積型超伝導量子干渉素子において、前記検出コイルが、前記ジョセフソン接合を構成する超伝導薄膜材料の臨界温度より高い臨界温度を持つ超伝導薄膜材料で形成されることを特徴とする超伝導量子干渉素子。

IPC (3件)：

G01R 33/035 ZAA , G01N 27/72 , H01L 39/22 ZAA

FI (3件)：

G01R 33/035 ZAA , G01N 27/72 , H01L 39/22 ZAA D

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-269681
特開昭56-158969
特開平3-155681

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