特許

J-GLOBAL ID：200903009182298886

投影露光装置

発明者： 伊藤 真信 ,  後藤 英司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134947
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320938
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 CPUが他の処理をしている間に積算露光量が設定露光量に達したときには、CPUが他の処理を中断してシャッターの閉成動作を開始することができる投影露光装置を提供する。【解決手段】インテグレータ・カウンタのカウント値が設定値に達した時点で、インテグレータ・カウンタがCPUに対して割り込み信号を送り、CPUがインテグレータ・カウンタの割り込み信号を受けたときは、他の処理を中断して、シャッタの閉成動作を開始するようにした。

請求項（抜粋）：

光源からの光束をレチクル上に導く照明光学系と、前記光束を遮断するシャッタと、前記光束で照明された前記レチクル上のパターン像を感光基板上に投影する投影光学系と、一回の露光を行う際の前記感光基板の露光量の積算値を検出する露光積算値検出手段と、前記露光積算値検出手段からの直接のアクセスにより、露光の完了を認識し、前記シャッターを閉じる制御手段とを含む投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 C