特許
J-GLOBAL ID:200903009188911695

非破壊検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 敬之助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-262741
公開番号(公開出願番号):特開平7-120436
出願日: 1993年10月20日
公開日(公表日): 1995年05月12日
要約:
【要約】【目的】 非破壊検査装置において試料のエッジ効果や表面の段差や凹凸または溶接の状態により発生するバックグラウンドノイズを低減し、欠陥やきずに対する分解能を高める。【構成】 2個以上の検出コイルを、同一平面上に配置し、均一の磁場内で発生する電流の向きが互いに逆方向となるように接続し、SQUIDで検出する。さらに、SQUIDと検出コイルを一体構造とする。
請求項(抜粋):
検出コイルとSQUIDと、前記検出コイルと前記SQUIDとを冷媒内に支持するプローブと、前記プローブを支持し前記冷媒を保持するクライオスタットと、前記SQUIDからの信号を処理する制御部と処理結果を表示する表示部からなる非破壊検査装置において、少なくとも2つの検出コイルと、各々の検出コイルに鎖交する磁場の直交成分の大きさが等しい場合、各々の検出コイルから前記SQUIDに流れる電流が打ち消し合う方向に検出コイルとSQUIDを接続する手段と、を有するをことを特徴とする非破壊検査装置。
IPC (2件):
G01N 27/83 ZAA ,  G01R 33/035 ZAA

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