特許
J-GLOBAL ID：200903009194502837
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-167998
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019908
出願日： 1996年06月27日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 試料表面の親水性疎水性の分布をナノメータの分解能で測定する。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡において,試料周囲の湿度を高真空状態から飽和水蒸気量になるまでを含めて正確に制御できるようにし、低湿度の状態で測定した摩擦力像と同一場所で高湿度の状態で測定した摩擦力像を比較することによって、この試料表面の親水性疎水性の分布を測定する。
請求項（抜粋）：
試料を探針に対して近づける手段と,試料を探針に対して走査する手段と試料の表面情報を探針の変位として検出する検出手段とを具備する走査型プローブ顕微鏡において,試料周囲の湿度を高真空状態から飽和水蒸気量になるまでを含めて制御できるようにし、低湿度の状態で測定した摩擦力像と同一場所で高湿度の状態で測定した摩擦力像を比較することによって、この試料表面の親水性疎水性の分布を測定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 H
, G01B 21/30 Z
