半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-214916
公開番号（公開出願番号）：特開平11-059829
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェハカセットの搬送能力が高い、半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法を提供する。【解決手段】上位計算機50は、収納先のストッカ36に半導体ウェハカセット40を収納する収納場所があるか否かをストッカ36に問い合わせる。ストッカ36に収納場所がある場合には、ストッカ間搬送装置42または自動搬送車38に搬送作業指示を送信する。または、ストッカ36に入庫作業指示を送信する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハカセットを複数個収納するためのストッカと、前記半導体ウェハカセットに処理を施すための処理装置と、前記ストッカと前記処理装置との間の前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうための自動搬送車と、搬送元の前記ストッカと搬送先の前記ストッカとの間で前記半導体ウェハカセットの搬送作業を行なうためのストッカ間搬送装置と、前記ストッカ、前記ストッカ間搬送装置、前記自動搬送車および前記処理装置の制御を行なうための上位計算機とを含む半導体ウェハカセット搬送装置におけるストッカ入庫制御方法であって、前記上位計算機は、前記ストッカで収納可能な最大カセット数を有しており、前記ストッカ入庫作業制御方法は、収納先の前記ストッカに空きがあることを確認するステップと、前記ストッカに空きがある場合に、前記ストッカの収納場所を確保するステップと、前記ストッカ間搬送装置若しくは前記自動搬送車に搬送作業指示を送信し、または前記ストッカに入庫作業指示を送信するステップとを含む、ストッカ入庫作業制御方法。

IPC (5件)：

B65G 1/137 , B65G 1/00 501 , B65G 1/00 535 , G05D 1/02 , H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 1/137 A , B65G 1/00 501 C , B65G 1/00 535 , G05D 1/02 P , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-257345
特開昭59-078535
特開平1-257345

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