特許
J-GLOBAL ID：200903009205275447
光学反射格子、その反射格子を用いた分光計、及び高い回折効率を有する光学反射格子を見出す方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-010314
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242314
出願日： 2001年01月18日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】【課題】 TE波とTM波でできるだけ等しい回折効率を達成し、同時に、できるだけ高い回折効率を達成することができる光学反射格子、その反射格子を用いた分光計、及びそのような光学反射格子を見出す方法を提供する。【解決手段】 多数の平行な溝(5)を有する光学反射格子において、波長(λ)に対する格子周期(g)の比が0.9 、好ましくは0.7 より小さい場合、ある一定波長(λ)のTE及びTM波の回折効率(DE)が10 %未満、好ましくは5 %未満しか異ならず、それぞれ少なくとも60 %であるような深さに溝深さが設定される。これにより、回折効率(DE)が入射光の偏光方向に実際上無関係となり、かつ非常に高くなる。
請求項（抜粋）：
多数の平行な溝(5)を有する光学反射格子であって、0.9、好ましくは0.7 よりも小さい、波長(λ)に対する格子周期(g)の比に対して、溝深さ(T)が、ある一定の波長(λ)のTE波及びTM波に対する回折効率(DE)が互いに10 %未満、好ましくは5 %未満しか異ならず、それぞれ少なくとも60 %になるような深さに設定されていることを特徴とする光学反射格子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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