特許
J-GLOBAL ID：200903009210398743
レチクルおよび露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-041878
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005980
出願日： 1991年03月07日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 レチクルの枚数を削減すると共に、レチクル交換の際に生じるレチクルの位置ずれに伴うパターンの合わせずれが発生しないようにする。【構成】 光透過性を有し表裏面が互いに平行な平行平板ガラス1の表面における互いに異なる領域に、遮光性を有するパターン2、X方向に振動している偏光のみを透過させる偏光子Xよりなるパターン及びY方向に振動している偏光のみを透過させる偏光子Yよりなるパターンが各々形成されているレチクルである。
請求項（抜粋）：
光透過性を有し表裏面が互いに平行な平板の表裏いずれかの面における互いに異なる領域に、遮光性を有するパターン、一方向に振動している偏光のみを透過させる第1の偏光子よりなるパターン及び前記一方向と直交する方向に振動している偏光のみを透過させる第2の偏光子よりなるパターンが各々形成されていることを特徴とするレチクル。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01L 21/30 301 P
, H01L 21/30 311 L
