特許

J-GLOBAL ID：200903009211153582

振動ジャイロおよび振動ジャイロ素子の製造方法

発明者： 小池 隆文 ,  大土 哲郎 ,  山下 光洋
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-242600
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057035
出願日： 2001年08月09日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 加工精度に優れ、高感度で、感度等の特性ばらつきのきわめて小さい振動ジャイロおよび振動ジャイロ素子の製造方法を提供する。【解決手段】 積層方向への分極の投影成分方向が互いに逆方向となるように形成された2層の圧電体4a、4bからなる、直方体形状の複数の振動体3と、少なくとも1つの平面を有し、複数の振動体3の長手方向が互いに平行となるように、複数の振動体3を平面上に設置している支持体5と、振動体3の積層方向の対向する面に形成された電極6、7と、複数の振動体3の屈曲振動を励振させる駆動手段11と、振動体3に作用したコリオリ力を検出する検出手段14、15とを備える。

請求項（抜粋）：

積層方向への分極の投影成分方向が互いに逆方向となるように形成された2層の圧電体からなる、直方体形状の複数の振動体と、少なくとも1つの平面を有し、前記複数の振動体の長手方向が互いに平行となるように、複数の前記振動体を前記平面上に設置している支持体と、前記振動体の積層方向の対向する面に形成された電極と、複数の前記振動体の屈曲振動を励振させる駆動手段と、前記振動体に作用したコリオリ力を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする振動ジャイロ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z

Fターム (9件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13