外力計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220722
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048244
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】貫通孔内に充填した導電性の充填部材を外力検出手段に確実に接触させ、充填部材による接続部の信頼性を向上させる。【解決手段】加速度計測装置21を、基板2、検出部3、隔壁9および蓋体22から構成する。そして、検出部3を、各固定部4と可動部7とから構成し、可動部7を、各支持部7A、各梁7Bおよび質量部7Cから構成する。また、蓋体22には、各固定部4と各支持部7Aとの当接位置に、各貫通孔23,24と各空気抜き孔25とを形成し、各貫通孔23,24内には導電性ペースト13を充填する。さらに、各空気抜き孔25を、通気孔25Aと連通溝25Bとから構成する。そして、各貫通孔23,24の検出部3側の開口部と各通気孔25Aとは、連通溝25Bを介して連通される。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に設けられ外部から加わる力を検出する外力検出手段と、該外力検出手段を囲んで前記基板の周囲に設けられた隔壁と、前記外力検出手段を覆うために該隔壁に設けられた蓋体と、前記外力検出手段まで貫通させて該蓋体に設けられた貫通孔と、該貫通孔内に充填され、前記外力検出手段に接触する導電性の充填部材と、該充填部材の充填時に前記貫通孔内の空気を外部に抜くための空気抜き孔とから構成してなる外力計測装置。

前のページに戻る