特許

J-GLOBAL ID：200903009215606700

半導体製造装置のボート変形測定装置

発明者： 柿崎 智 ,  尾島 光洋
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327922
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154744
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】作業者の熟練度に関係なく、常時ボートの変形を簡単且つ正確に測定することができる半導体製造装置のボート変形測定装置を提供する。【解決手段】ボート2,検知手段12,演算手段13とを備えている。このうち、ボート2は、半導体製造装置の反応室内に装填されるものであり、ウェーハ5が収容されるウェーハ装填用溝6を少なくとも3箇所以上備えている。検知手段12は、ボート2にウェーハ5を装填する移載機3に配置され、ウェーハ装填用溝6にウェーハ5の代わりに装填された治具ウェーハ9を検知するするようになっている。演算手段13は、検知手段12の検知データと初期値とを比較し、ボート2の変形量を算出するようになっている。

請求項（抜粋）：

基板が収容される基板装填部を少なくとも3箇所以上備え、半導体製造装置の反応室内に装填されるボートと、該ボートに基板を装填する移載機に配置され、前記基板装填部に基板の代わりに装填された測定用基板を検知する検知手段と、該検知手段の検知データと初期値とを比較し、ボートの変形量を算出する演算手段と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置のボート変形測定装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 511

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/22 511 J