光学原点調整装置及び光学原点の初期調整方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山田恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-179958
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358383
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】初期調整においていわゆるPSDにより構成される位置検出器の光学原点を容易且つ正確にしかも迅速に機械の中心に対し合わせ得るようにする。【解決手段】照射された基準レーザ光の検出面に対する光原点の位置を光電流I1,I2により検出し得るようにした位置検出器21を、YAGロッドを備えたキャビティに取付けた冶具にセットし、位置検出器21に可変抵抗器27,28を備えた検出回路29,30を接続する。

請求項（抜粋）：

照射された基準レーザ光の検出面に対する光学原点の位置を光電流により検出し得るようにした位置検出器を、レーザロッドを備えたキャビティに取付けた冶具にセットし、前記位置検出器に夫々可変抵抗器を備えた複数の検出回路を接続したことを特徴とする光学原点調整装置。

IPC (3件)：

H01S 3/00 , H01L 31/10 , H01S 3/07

FI (3件)：

H01S 3/00 G , H01S 3/07 , H01L 31/10 G

Fターム (11件)：

5F049NA18 , 5F049NB07 , 5F049RA02 , 5F049UA01 , 5F049UA04 , 5F072AB01 , 5F072AK01 , 5F072JJ20 , 5F072KK05 , 5F072KK30 , 5F072MM08

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-069183
レ-ザ発振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-033345 出願人：レーザー濃縮技術研究組合, 株式会社東芝
特開平3-071438

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