カバーフィルム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-205269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297565
出願日： 1993年08月19日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【構成】表面ぬれ張力が36dyn/cm以下であるポリエステルフィルムからなるカバーフィルムにおいて、該ポリエステルフィルムのヤング率が10〜250kg/mm2 であることを特徴とするカバーフィルム。【効果】フォトレジストへのラミネート適性、フォトレジストからの剥離性にすぐれ、しかもフォトレジストの保護性にも優れた効果を奏する。

請求項（抜粋）：

表面ぬれ張力が36dyn/cm以下であるポリエステルフィルムからなるカバーフィルムにおいて、該ポリエステルフィルムのヤング率が10〜250kg/mm2 であることを特徴とするカバーフィルム。

IPC (5件)：

B29C 55/12 , B32B 27/36 , C08J 7/04 CFD , B29K 67:00 , B29L 7:00

引用特許：

審査官引用 (48件)

特開平2-163155
特開平2-163155
特開平4-216830

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