特許

J-GLOBAL ID：200903009232304050

異物粒子の検出方法

発明者： 金丸 龍二
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176422
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026397
出願日： 1995年07月12日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【課題】散乱光の強度を測定することによりウエハ上の異物粒子の検出方法に関し、膜上及び膜中の異物粒子をともに検出可能な異物粒子の検出方法を提供する。【解決手段】被検出体101上に第1の偏光を有する光を入射し、前記被検出体101表面で散乱した光のうち前記第1の偏光と異なる第2の偏光を有する光を検出して、前記被検出体101上の異物粒子13bを検出する。

請求項（抜粋）：

被検出体上に第1の偏光を有する光を入射し、前記被検出体表面で散乱した光のうち前記第1の偏光と異なる第2の偏光を有する光を検出して、前記被検出体上の異物粒子を検出することを特徴とする異物粒子の検出方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01J 4/00 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/88 E ,  G01J 4/00 ,  H01L 21/66 J