特許

J-GLOBAL ID：200903009244318919

感光性組成物及び回路パタ-ン形成方法

発明者： 吉本 洋 ,  石井 渡
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社 ,  富士フイルムオーリン株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371208
公開番号（公開出願番号）：特開2000-194126
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、基板との密着性が高く、ウェットエッチング法においても微細なパターンを再現することが可能な感光性組成物及び回路パターン形成方法を提供する。【解決手段】 (a)結着樹脂、(b)感光性化合物、及び(c)(a)総重量に対して0.001〜10重量%のEDTA(エチレンジアミン四酢酸)誘導体化合物を含有する事を特徴とする感光性組成物でなる。回路パターン形成方法は、(1)基板上に上記感光性組成物を塗布する工程、(2)上記感光性組成物にパターン露光した後現像する工程、(3)該パターンをレジストとして基板をウエットエッチングする工程を含む。

請求項（抜粋）：

(a)結着樹脂、(b)感光性化合物、及び(c)(a)総重量に対して0.001〜10重量%のエチレンジアミン四酢酸(EDTA)誘導体を含有する事を特徴とする感光性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/30 570

Fターム (32件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB29 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025EA04 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA06 ,  2H096BA10 ,  2H096BA11 ,  2H096CA12 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  5F046BA04 ,  5F046JA00 ,  5F046LA00