特許

J-GLOBAL ID：200903009256494097

反応性金属上へのポリイミドの付着の増強

発明者： ハロルド・ジヨージ・リンデ ,  ローズマリー・アン・プレビテイ-ケリー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-162836
公開番号（公開出願番号）：特開平5-222193
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：

【要約】【目的】 下地の金属表面へのポリイミド樹脂層の付着性の改善。【構成】 シルセスキオキサンコポリマーへと硬化する有機溶液を金属表面に施すことからなり、ポリイミドとコポリマーは、同時的な硬化工程の間に形成された。

請求項（抜粋）：

次の工程:アミノアルコキシシランモノマー、アリールアルコキシシランまたはアリールシラザンモノマーおよび水を溶媒中で反応させて調製した有機溶液を金属表面に施し;該表面を部分的に硬化された層が、該表面に形成されるような条件下に加熱し;ポリイミドプレカーサー物質からなる溶液を該部分的に硬化された層に施し;そして該表面を加熱して硬化されたシルセスキオキサンコポリマーの層およびポリイミド層が同時に形成されるような条件下に加熱することからなる金属表面へのポリイミド層の付着を改善する方法。

IPC (3件)：

C08G 73/10 NTF ,  C09D183/08 PMS ,  H01L 21/312