特許
J-GLOBAL ID：200903009259942260
多層印刷配線基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-232411
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068648
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 3層以上のシールド多層板または触媒入りシールド多層板とを用い、表裏の配線層や層間接続するビアホール及び導通接続穴を有する多層配線基板にあって、薄型化,配線の自由度化,高温多湿な高電界の環境下に耐え得る電食特性及び高密度化対応等が優れ、さらに電気的な接続信頼性の高い多重ビアホール付き多層配線基板の製造方法47を実現することを目的とする。【解決手段】 上述の課題を実現するために、前記シールド板に穴埋めされた導通接続穴の穴内に穴壁金属膜に接触しないようにレーザドリリングしテーパ角をもつ貫通穴を設け得、これに銅めっきを施し導通接続穴を形成、この穴内に絶縁体を形成した後に、無電解ニッケルと電解銅めっきを併用して導通接続穴を設け、さらに接続用パッドを形成した後に、表裏を層間接続するビアホールを多重形成して、配線の自由度化及び電食特性に優れ得る高密度化からなる多層配線基板の製造方法47を達成しようとするものである。
請求項（抜粋）：
3層以上のシールド多層板または触媒入りシールド多層板や層間の表裏の配線層を導通するビアホール及び導通接続穴を有する多層配線板にあって、第1貫通穴(7)を第1UVレーザビーム加工して、この穴(7)内壁と表裏面に下地第1ニッケルめっき(8)を施し、このニッケルめっき(8)の上に第1パネル銅めっき(9)を施すことにより第1導通接続穴(10)を形成する工程、前記第1導通接続穴(10)内に第1絶縁体(11)を穴埋め形成後に、フォトエッチング法によって、第1接続用パッド(14)及び第1配線層(13)等を形成させて穴埋め付きシールド多層板(1)を完成させる工程、前記穴埋め付きシールド多層板(1)に無機フィラー10%以上を含む第1外層(15)をラミネート積層して、これに第2UVレーザビームを用いて、第1半貫通穴(17)と第2貫通穴(18)を前記第1導通接続穴(10)の内壁に接触しないように穿設して、この穴(17)及び(18)内壁と表裏面に下地第2ニッケルめっき(19)を施して、この第2ニッケルめっき(19)上に第2パネル銅めっき(20)を施すことにより第1ビアホール(22)及び第2導通接続穴(21)を形成する工程、前記第2導通接続穴(21)穴内に第2絶縁体(23)を穴埋め形成後に、この上に第3ニッケルめっき(24A)を施し、さらに第3パネル銅めっき(24)を施して、しかる後に、フォトエッチング法を用い、第1導通接続穴の内径(28)よりも小さい第2接続用パッド(25)を形成する工程、接着剤及び銅箔付き内層導体含む無機フィラー10%以上含むものからなる第2外層(32)を表裏面に積層形成する工程、これに第3UVレーザドリリングすることにより第2半貫通穴(33)及び第3半貫通穴(34)を形成する工程、下地第4ニッケルめっき(35)を施し、この下地第4ニッケルめっき(35)の上に第4パネル銅めっき(36)を施し、第2ビアホール(37)及び第3ビアホール(38)を設ける工程、フォトエッチング法により必要外の外層銅箔を除去し、この表裏上の銅箔層以外に無電解用永久レジスト(41)を形成後に下地無電解ニッケルめっきを施しこの上に無電解めっき(cc-41)(42)を施し、発熱部品(45)の搭載用第2ビアホール放熱ランド(39)、第3ビアホール放熱ランド(40)及び高密度化用微細配線層(44A)及び(44B)を形成する工程等からなることを特徴とする多層ビアホール付本発明の多重配線基板の製造方法(47)。
IPC (4件)：
H05K 3/46
, B23K 26/00 330
, H05K 3/00
, H05K 9/00
H05K 3/46 N
, H05K 3/46 E
, H05K 3/46 Q
, H05K 3/46 T
, H05K 3/46 X
, B23K 26/00 330
, H05K 3/00 N
, H05K 9/00 R
4E068AF01
, 4E068CA01
, 4E068CA02
, 4E068CA04
, 4E068DA11
, 4E068DB01
, 4E068DB10
, 5E321AA17
, 5E321BB25
, 5E321GG05
, 5E321GG09
, 5E346AA15
, 5E346AA17
, 5E346AA43
, 5E346AA45
, 5E346BB01
, 5E346BB16
, 5E346CC09
, 5E346CC16
, 5E346CC46
, 5E346CC54
, 5E346DD02
, 5E346DD12
, 5E346DD22
, 5E346DD32
, 5E346DD44
, 5E346DD47
, 5E346DD48
, 5E346EE31
, 5E346EE33
, 5E346EE38
, 5E346FF04
, 5E346FF07
, 5E346FF10
, 5E346GG15
, 5E346GG17
, 5E346GG22
, 5E346GG27
, 5E346GG28
, 5E346HH07
, 5E346HH08
, 5E346HH17
, 5E346HH24
, 5E346HH25
