粘着シート及びそれを用いた対象物の分離方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096186
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289888
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】粘着シートを用いて必要なチップと不必要なチップを精度良くかつ簡単に分離することができる方法を提供することを課題とする。【解決手段】 (a)ベース部材の上にカット目が入っている粘着層が貼られている粘着シートを用意する工程であって、該粘着層が該カット目により第1の部分と第2の部分とに分離可能になっている工程と、(b)粘着層のカット目にまたがるように粘着層の上に対象物を貼る工程と、(c)粘着層上の対象物を複数のチップにカットする工程と、(d)粘着層の第1の部分(6)をその上に貼られたチップと共に前記ベース部材から剥がし、粘着層の第2の部分(13)の上に他のチップを残す工程とを含む。

請求項（抜粋）：

対象物を粘着力によって保持し、対象物の細断工程を行った後、非正常の第1の部分と正常の第2の部分とを分離するための粘着シートであって、ベース部材と、前記ベース部材の上に貼られ、表面に対象物を粘着するための粘着層であって、対象物の第1の部分が貼られる部分と対象物の第2の部分が貼られる部分との境界に対応したカット目を有する粘着層とを有する粘着シート。

IPC (3件)：

H01L 21/301 , C09J 7/02 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/78 M , C09J 7/02 Z , H01L 21/68 N

前のページに戻る