特許
J-GLOBAL ID：200903009272893376
薄板のエッチング方法およびこの方法を実施する装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298440
公開番号（公開出願番号）：特開平7-150370
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：
【要約】【目的】 エッチング液のエッチング能力が変化し、或はエッチングする薄板の品種が変わっても、寸法ばらつきの極小な薄板のエッチングを実施することができ、そして薄板の品種交換に長時間を要せず、また作業者に技能経験を要請しない薄板のエッチング方法および装置を提供する。【構成】 レジストを塗布した薄板2を順次搬送しながらエッチング液10を噴霧させて薄板2にパターンを形成する薄板のエッチング方法およびこの方法を実施する装置において、薄板2のエッチング前の乾燥重量を測定すると共にエッチング後の乾燥重量を測定し、エッチング重量の目標エッチング重量からの変化量に基づいて搬送速度の修正量を求める薄板のエッチング方法およびこの方法を実施する装置。
請求項（抜粋）：
レジストを塗布した薄板を順次搬送しながらエッチング液を噴霧させて薄板にパターンを形成する薄板のエッチング方法において、薄板のエッチング前の乾燥重量を測定すると共にエッチング後の乾燥重量を測定し、エッチング重量の目標エッチング重量からの変化量に基づいて搬送速度の修正量を求める、ことを特徴とする薄板のエッチング方法。
IPC (3件)：
C23F 1/08 103
, C23F 1/08 101
, H01L 23/50
