特許
J-GLOBAL ID：200903009274276676
真空バルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-318681
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167342
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】反応ガスの排気系に用いられる真空バルブの反応生成物による弁シール材の劣化や弁体への付着によるシール不良を防止し、装置停止による不稼働損とオーバーホール費用を半減する。【構成】弁体1の弁体内蔵ヒータ7を温度制御することによる反応生成物の弁体1への付着、加熱窒素導入口8から加熱窒素を流すことによる反応生成物の弁体1以外への付着を防止するとともに弁体1と吸気孔3とと排気口4に排気抵抗が小さくなるように角度をつけ、加熱窒素を排気ガスと合流させることにより真空バルブ内での滞留を防止し排気を円滑に行う。
請求項（抜粋）：
真空容器と、この真空容器に接続し反応ガスを吸気する吸気口と、排気する排気口と、前記真空容器内に収納され前記吸気口の開閉を行う弁体と、この弁体に内蔵されこの弁体を加熱する弁内蔵ヒータと、前記弁体の前記吸気口との接触面に取り付けられ前記吸気口との気密を保持する弁シール材と、前記真空容器の壁面に設けられ加圧することにより前記弁体を上下動させる少くとも2つのポートと、加熱窒素を前記真空容器内に導入する加熱窒素導入口とを備え、かつ、前記吸気口と前記弁体と前記排気口を吸気方向と排気方向が鈍角になる様に配置したことを特徴とする真空バルブ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
