特許
J-GLOBAL ID：200903009279073307
集積型マイクロセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245899
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110317
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【構成】シリコンあるいは感光性ガラスよりなる基板1をエッチング加工して製作した肉厚の薄いビームの上にマイクロヒータ部2,マイクロ温度センサ部3,マイクロヒータ部4,マイクロ温度センサ部5を形成している。【効果】自動車のエバポ規制システムに適用可能な集積型マイクロセンサの実現。
請求項（抜粋）：
熱伝導式ガス濃度検出部と熱式ガス流量検出部を一体に集積化したことを特徴とする集積型マイクロセンサ。
IPC (4件)：
G01N 27/18
, F25B 39/00
, G01F 1/68
, G01N 25/18
