特許
J-GLOBAL ID：200903009290760197
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-149450
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339638
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】駆動振動部の圧電体の厚みを検出振動部の圧電体の厚みより薄く形成することにより、駆動振動部の駆動変位を大きくし、かつ、検出振動部の検出電圧を高くして、検出感度を向上させる。【解決手段】基体1から伸びる片持梁振動体の根元側に、共通電極4a、厚手の酸化亜鉛層5aおよび一対の検出電極6a、7aよりなる一対の検出振動部6、7を形成する。また、片持梁振動体2の先端側に、共通電極4b、薄手の酸化亜鉛層5bおよび駆動電極8aよりなる駆動振動部8を形成する。そして、駆動振動部8の酸化亜鉛層5bの厚みt2を検出振動部6、7の酸化亜鉛層5aの厚みt1より薄く形成する。
請求項（抜粋）：
基体から伸びる片持梁振動体上に、該片持梁振動体の根元部から中央部にかけて梁幅方向に2分割された一対の検出電極、圧電体および共通電極の層からなる一対の検出振動部が形成され、かつ、前記片持梁振動体の中央部から先端部にかけて、駆動電極、圧電体および共通電極の層からなる駆動振動部が形成され、前記一対の検出電極から配線パターンが前記基体の圧電体上に形成した一対の検出用パッドにそれぞれ導出され、前記駆動電極から配線パターンが前記一対の検出電極の間を通して前記基体の圧電体上に形成した駆動用パッドに導出され、前記駆動電極と共通電極との間に介在する圧電体の厚みが、前記一対の検出電極と共通電極との間に介在する圧電体の厚みより薄く形成されている角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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