特許
J-GLOBAL ID：200903009291506138
固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088054
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288481
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 集光率を高めてその感度を向上した固体撮像素子と、その製造方法を提供する。【構成】 矩形の画素11を縦横に配設し、画素11の中央部に受光面12を形成し、受光面12上に凸レンズ13を形成した固体撮像素子10である。凸レンズ13は、その凸部分の基底部が画素11...間にて縦横に連続して形成されている。また、画素面上に凸レンズの形成材料からなるレンズ形成層を形成し、レンズ形成層上にレジスト層を形成し、このレジスト層を、画素のうちの縦横に隣り合う四つの画素の接点部に開口部を形成するようにパターンニングする。そして、パターニングしたレジスト層を熱処理し、その表面張力により前記画素の中央部が上に凸となるようにレジスト層を軟化・溶融させる。その後、熱処理後のレジスト層をマスクとしてレンズ形成層をエッチングして固体撮像素子を得る製造方法。
請求項（抜粋）：
正方形または長方形の画素を縦横に配設し、該画素の中央部に受光面を形成し、該受光面上に凸レンズを形成した固体撮像素子の製造方法において、前記画素面上に前記凸レンズの形成材料からなるレンズ形成層を形成する工程と、前記レンズ形成層上にレジスト層を形成する工程と、前記レジスト層を、前記画素のうちの縦横に隣り合う四つの画素の接点部に開口部を形成するようにパターンニングする工程と、前記パターニングしたレジスト層を熱処理し、その表面張力により前記画素の中央部が上に凸となるように該レジスト層を軟化・溶融させる工程と、前記熱処理後のレジスト層をマスクとして前記レンズ形成層をエッチングする工程と、を備えてなることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
引用特許：
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