特許

J-GLOBAL ID：200903009293976476

材質特定X線検査装置

発明者： 芝田 健治 ,  菅原 良輔 ,  河野 和宏 ,  太田 正則
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-260556
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104175
出願日： 1996年10月01日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 被測定物に含まれる対象物の元素を特定して、材質を特定することができる材質特定X線検査装置を提供する。【解決手段】 予め元素が既知の対象物にX線を照射して、透過X線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを、照射X線のエネルギー別および元素別に求めて特性データとして特性データ格納手段(特性データメモリ14)に格納しておき、X線源(第1,2 X線管2h,2L)からエネルギーの異なる2つのX線を被測定物4に照射し、各X線に対する透過X線を検出器(第1,2 ラインセンサX線管6h,6L)で検出して検出出力レベルを求める。材質特定手段(画像メモリ12,演算,比較回路13,制御回路15)は、特性データを用いて2つの検出出力レベルに対応する対象物の厚みを求め、厚みが一致する元素を求める。異なるX線エネルギーによる検出出力レベルに対する厚みの一致から、被測定物中に含まれる対象物の元素を特定し、被測定物の材質を特定する。

請求項（抜粋）：

透過したX線によって被測定物の検査を行うX線検査装置において、エネルギーの異なる少なくとも2つのX線を被測定物に照射するX線源と、被測定物を透過したX線を検出する検出器と、透過X線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを、照射X線のエネルギー別および元素別に格納した特性データ格納手段と、エネルギーの異なるX線の照射で得た2つの検出出力に対して得られる対象物の厚みを同一とする元素を前記特性データ格納手段から求めることによって、材質を特定する材質特定手段とを備えたことを特徴とする材質特定X線検査装置。