特許
J-GLOBAL ID:200903009294762500
ポジ型感光性樹脂組成物及びその硬化物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-061130
公開番号(公開出願番号):特開2005-250160
出願日: 2004年03月04日
公開日(公表日): 2005年09月15日
要約:
【課題】高解像度、高感度で、かつ、優れたパターン寸法制御性を有し、さらには、高耐熱性、低吸湿性である感光性樹脂組成物及びその硬化物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶なフェノール樹脂と、(B)フェノール性水酸基を有するポリアミド樹脂と、(C)感光性ジアゾキノン化合物と、(D)多官能メチロール化合物と、(E)溶剤とを含有し、高温硬化、低温硬化の両方に対応可能であり、得られる塗膜の耐薬品性、基板との密着性が良好であるポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)アルカリ可溶なフェノール樹脂と、
(B)次の一般式(I)又は(II)で表されるフェノール性水酸基を有するポリアミド樹脂
IPC (5件):
G03F7/023
, C08G73/10
, G03F7/004
, G03F7/037
, H01L21/027
FI (5件):
G03F7/023 511
, C08G73/10
, G03F7/004 501
, G03F7/037
, H01L21/30 502R
Fターム (81件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AA13
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB23
, 2H025CB25
, 2H025CB26
, 2H025CB28
, 2H025CB29
, 2H025CB33
, 2H025CB43
, 2H025CC17
, 2H025FA15
, 2H025FA29
, 4J043PA04
, 4J043PA19
, 4J043QB15
, 4J043QB24
, 4J043QB25
, 4J043QB26
, 4J043QB31
, 4J043QB33
, 4J043QB34
, 4J043RA06
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SA71
, 4J043SB01
, 4J043SB02
, 4J043TA02
, 4J043TA03
, 4J043TA12
, 4J043TA14
, 4J043TA21
, 4J043TA22
, 4J043TA32
, 4J043TB01
, 4J043TB02
, 4J043UA022
, 4J043UA032
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UA262
, 4J043UA652
, 4J043UA662
, 4J043UA672
, 4J043UB011
, 4J043UB012
, 4J043UB021
, 4J043UB022
, 4J043UB061
, 4J043UB062
, 4J043UB121
, 4J043UB122
, 4J043UB151
, 4J043UB152
, 4J043UB301
, 4J043UB302
, 4J043UB351
, 4J043UB401
, 4J043UB402
, 4J043VA012
, 4J043VA021
, 4J043VA022
, 4J043VA041
, 4J043VA042
, 4J043VA051
, 4J043VA061
, 4J043VA062
, 4J043VA081
, 4J043VA082
, 4J043VA092
, 4J043WA09
, 4J043WA16
, 4J043ZB22
引用特許:
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