特許

J-GLOBAL ID：200903009299250221

露光装置における焦点合わせ機構

発明者： 田中 更吉
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046513
公開番号（公開出願番号）：特開平5-304078
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】ウェーハ7の面に凹凸があっても、露光光の焦点をより精度に設定出来る。【構成】光源部21、投光レンズ系31、検出レンズ系41及び受光部51とで構成される焦点合せ装置におけるウェーハ7と投光レンズ系31との間の光路に投射光のスポットを絞る絞り機構を設け、露光領域の大きさに応じて投射光のスポットの大きさを変えて焦点合わせを行なう。

請求項（抜粋）：

ウェーハに塗布されるフォトレジストが感光しない領域の波長をもつ光を発生する光源部と、この光を平行光にして前記ウェーハ面に投射する投光レンズ系と、前記ウェーハ面より反射する光を補足して集光する検出レンズ系と、集光される光を検知する受光部とを備える露光装置における焦点合わせ機構において、前記光源部と前記検出レンズ系との間の光路途中に前記光のスポットの大きさを変える絞り機構とを有することを特徴とする露光装置における焦点合わせ機構。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/28 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/34 ,  G03F 7/207

FI (2件)：

H01L 21/30 311 N ,  G02B 7/11 M

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-164033
  
• 特開平1-240802
  
• 特開平4-062826