特許

J-GLOBAL ID：200903009300317335

感光性組成物

発明者： 上村 次郎 ,  佐々木 充 ,  中井 英之 ,  秋山 健夫 ,  松村 智之 ,  鈴木 利継
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社 ,  コニカ株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-315015
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150455
出願日： 1991年11月28日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【構成】 感光性組成物で、少なくともキノンジアジド化合物、アルカリ可溶性樹脂、露光により酸を生成する化合物、有機染料及び特定の骨格を有するハロゲン化合物を含有することを特徴とする。【効果】 通常露光時だけでなく、低露光時においても優れた露光可視画性を有する。

請求項（抜粋）：

少なくとも(a) キノンジアジド系化合物(b) アルカリ可溶性樹脂(c) 露光により酸を生成する化合物(d) 有機染料及び(e) 下記一般式(I)で表わされるハロゲン化合物【化1】(式中、R1 ,R2 はそれぞれ水素原子、2級もしくは3級アミン、またはアルキル基を表わすが、R1 及びR2は互いに結合して置換基及び/または二重結合を有する単環あるいは縮合多環を形成していてもよい。Xは【化2】を表わす。R3 はハロゲン原子もしくはハロゲン原子を含有する基を表わし、R4 ,R5 はそれぞれ水素原子、ハロゲン原子、もしくはハロゲン原子を含有する基を表わすが、R4 及びR5 は同時に水素原子にはならない。)を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/039 501 ,  G03C 1/675 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 507 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027