特許
J-GLOBAL ID:200903009300949617

磁歪式トルクセンサの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小塩 豊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-135068
公開番号(公開出願番号):特開平5-149804
出願日: 1985年05月21日
公開日(公表日): 1993年06月15日
要約:
【要約】【目的】 トルク0の付近でオフセット電圧が発生せず、トルクの変化に対する出力の直線性が良好である精度の高い磁歪式トルクセンサを提供する。【構成】 軸2の表面に磁気ひずみ効果を有しかつ磁気異方性を有する磁歪膜4を設けると共に、磁歪膜4の近傍に複数のコイル5,6を配設して、軸2に加えられるねじりトルクによる磁気ひずみを利用してトルクを検出する磁歪式トルクセンサ1を製造するに際し、軸2に対してあらかじめ所定の方向に所定のねじりトルクを加えた状態にして、前記磁気異方性を有する磁歪膜4を軸2の表面に設け、その後前記ねじりトルクを除去する。
請求項(抜粋):
軸の表面に磁気ひずみ効果を有し且つ前記軸に加えられるねじりトルクの方向に対して傾斜する方向に磁気異方性を有する磁歪膜を設けると共に、前記磁歪膜の近傍に複数のコイルを配設して、前記コイルにより発生した磁束が前記磁歪膜を通る磁気回路を形成し、前記軸に加えられるねじりトルクによる前記磁歪膜の変形に起因する磁気ひずみを利用して前記トルクを検出する磁歪式トルクセンサを製造するに際し、前記軸に対してあらかじめ所定の方向に所定のねじりトルクを加えた状態にして、前記磁気異方性を有する磁歪膜を前記軸の表面に設け、その後前記ねじりトルクを除去することを特徴とする磁歪式トルクセンサの製造方法。

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