特許

J-GLOBAL ID：200903009305675604

不純物の測定方法

発明者： 前田 綾子 ,  影山 もくじ ,  荻野 正信 ,  吉井 新太郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332852
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218474
出願日： 1989年04月25日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】被測定物表面に付着している不純物を高感度及び高精度に測定することができ、分析コストも安く信頼性も高い不純物の測定方法を提供する。【解決手段】密閉容器10にウエハ14を収納し、弗化水素酸溶液15の蒸気で表面に形成されている自然酸化膜16を溶解する。溶解後は、ウエハ14の表面上に弗化水素酸溶液の液滴17を滴下し、液滴をウエハ上の全面に走査、移動することにより、ウエハ表面上に付着していた自然酸化膜を溶解した溶解液を回収する。その後、溶解液を回収した液滴を採取し、分光分析装置を使用した化学的分析法により分析し、不純物の種類及び量の測定を行なう。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面に対して疎水性の関係にある液体を被測定物の表面に供給する工程と、上記液体を被測定物の表面に接触させるように保持しながら被測定物に対して相対的に移動させて上記液体に上記表面上に存在する不純物を取り込む工程と、上記液体に取り込まれた不純物を測定する工程とを具備したことを特徴する不純物の測定方法。

IPC (2件)：

G01N 1/28 ,  G01N 33/00

FI (2件)：

G01N 1/28 X ,  G01N 33/00 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-028533
  
• 特開平2-272359
  
• 特開平2-229428
  
• 分解液による分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-062983   出願人：ソニー株式会社