セラミック多層配線基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-381662
公開番号（公開出願番号）：特開2002-178327
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】セラミックグリーンシートの材料となるセラミックスラリーは粘度変化を起こし、粘度が変化してしまうためにセラミックグリーンシートの厚さが安定しない。【解決手段】セラミックスラリーの粘度変化を低減するために、セラミックスラリー搬送中の温度制御を行うことで、温度変化による粘度変化を低減し、セラミックグリーンシートの厚さ安定化を図る。【効果】温度変化によるセラミックスラリーの粘度変化を低減させ、セラミックグリーンシートの厚さ安定化を図ることで、セラミック基板の寸法精度が向上するため歩留が向上する。

請求項（抜粋）：

セラミック基板の基材となるセラミックグリーンシートの製造において、混合後のセラミックスラリーを真空脱気した後、液槽を有するキャストマシンに圧送する際に、真空脱気装置と液槽の間でセラミックスラリーの温度を一定に保つことにより粘度変化を低減し、セラミックグリーンシートの厚さを安定化する製造方法。

IPC (3件)：

B28B 13/02 , B28B 1/30 101 , H05K 3/46

FI (3件)：

B28B 13/02 , B28B 1/30 101 , H05K 3/46 H

Fターム (17件)：

4G052DA02 , 4G052DB02 , 4G055AA08 , 4G055AC01 , 4G055CA12 , 4G055CA19 , 4G055FA07 , 5E346AA12 , 5E346AA22 , 5E346AA51 , 5E346CC16 , 5E346DD02 , 5E346EE24 , 5E346EE25 , 5E346EE29 , 5E346GG04 , 5E346HH11

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